多晶硅和石英玻璃的聯合制備法的熱能是被充分利用的陶瓷，其生產過程沒有反復升降溫的現像，因此可以節能，而且節能的數字是相當可觀的。

采用傳統的單項生產法生產多晶硅，還原料從鼓泡器裡出來後被送進還原爐。在爐內還原料被加熱到1150∼1250℃，發生了氫還原反應，生成多晶硅。采用這種生產法，進入還原爐的還石英原料只有少數(一般認為10％∼20％)參加反應，生成了多晶硅，絕大多數被當作尾氣排放了。最初，這些尾氣石英管被當成廢氣放掉，造成極大的浪費。為避免浪費，人們把尾氣中的氫氣和四氯化硅回收，經淨化提純後再利用。這樣一來，出來的高溫料，進入由冷凍分離器和氫氣回收組成的回收系統回收。在回收系統裡，還原料被冷凍降溫至四氯化硅的沸點(57．6。C)之下，一般認為應在40∼38℃為好。如按還原料在還原爐裡的低限溫度1150℃，

降溫後的上限溫度40。C計算，也要降溫1100℃。問題是，回收後4()℃的常溫還原料要重新被送入鼓泡器裡，然後通進還原爐，再次被加熱到11501250。C的高溫。

從上述工藝中可以看出，進入還原爐被加熱的大部分還原料(占進爐料9()％)沒有被利用就被送出降溫，而且降溫後又被重新送入還原爐成為參加新一輪反應的還原料。很明顯，這是一種浪費，沒有參加反應的還原料按理說應該不加熱。可問題是，在還原爐裡，沒有參石英舟加反應的還原料與參加反應的還原料是混在一起的，根本無法分開，如果沒有參加反應的還原料不加熱，那麼，參加反應的還原料也無法加熱。我們知道，參加反應的還原料溫度低是無法進行化學反應的，也就無法生產出多晶硅。所以，如果采用傳統的單項生產法生產多晶硅的話，上述浪費是不可避免的。

如果采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法，由還原爐裡出來沒有參加反應的還原料不進入回收系統，而被當成生產石英玻璃的原料直接進入制砣機，因此不用降溫。也就是說，采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法生產多晶硅是可以避免上述浪費的，可以節約80％∼90％的能源。這只是生產多晶硅，采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法來生產石英玻璃也一樣具有明顯的節能優勢。

采用傳統的單項生產法生產石英玻璃，也需要將送進制砣機的合成料加熱，而且升溫的幅度要更大。一般認為，制砣機的反應區裡要達到1400∼1600℃的高溫，而要達到如此高溫需要消耗大量的能源。傳統的單項生產法生產石英玻璃是靠氫氧燃燒來獲取高溫的。我們知道，在單項生產的合成料裡已經含有氫氣了，可為了達到此高溫，還得另外向制砣機的反應區裡通人燃料氫氣和助燃的氧氣，而且燃料氫氣的量要大於合成料所含的氫氣。

如果采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法，由還原爐裡出來沒有參加反應的還原料被當成合成料直接進入制砣機。該料溫度已經很高，在1150∼1250℃左右。這樣的料通入制砣機就不用再另外向制砣機的反應區通人燃料氫氣，因為該料所含的氫氣燃燒所產生的熱量已經完全可以滿足化學反應的需要了。由此可以看出，

采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法來生產石英玻璃可以節省50％∼6()％的氫氣，可見這些數字是相當可觀的。