多晶硅和石英玻璃的聯合制備法生產是連續石英管的，設備是串聯的，是將上一個產品的尾氣或尾液作為下一個產品的原料，使本應作為廢氣排出的尾氣得到了綜合利用。因此，它不僅可以減少廢氣的排放量，而且還可以減輕對環境的污染。

采用傳統的單陶瓷項生產法生產多晶硅，要放出尾氣，即使有了由冷凍分離器和氫氣回收組成的回收系統，也還是要排放出尾氣，只不過，尾氣的數量少得多。上述尾氣是由沒有參加反應的還原料與參加反應後產生的廢氣共同組成。沒有參加反應的還原料主要是由氫氣和四氯化硅組成；參加反應後產生的廢氣主要是氯化氫。氫氣的排放不會對環境造成污染，可四氯化硅和氯化氫就不同了，它們都是有毒物質，會對環境造成嚴重的石英污染，是不可以直接排放到大氣中的。四氯化硅是有強烈刺激性的物質，可以使人窒息。據說，在第二次世界大戰時德國人曾經想把四氯化硅當作化學武器來使用，由此可以想像到它的危害有多大了。氯化氫氣體的毒性也是相當大的，它遇水會變成三大強酸之一的鹽酸，對人體、建築物、設備、環境都有極大的危石英舟害。

采用傳統的單項生產法生產石英玻璃，也要排放出尾氣。該尾氣中也同樣含有有毒的氯化氫，因此也同樣會對環境造成危害。

如果采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法來生產多晶硅和石英玻璃，尾氣問題就會解決了。多晶硅和石英玻璃的聯合制備法生產多晶硅的還原爐放出尾氣沒有直接放空，而是被直接送入制砣機裡來生產石英玻璃。這樣一來，生產多晶硅的尾氣污染問題就會大大減輕了。

采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法生產石英玻璃，制砣機出來的尾氣被送人尾氣處理系統。該尾氣處理系統可將制砣機放出來的尾氣轉變為稀鹽酸和二氧化硅。二氧化硅是無害的，它的顆粒細小而且純度極高，是高級的納米級材料，其用途是比較廣的。它不僅可以成為制藥、制漆添加劑，而且還可以成為很多化工生產的原材料。稀鹽酸是有害的，但可以把它回收，濃縮成為成品酸。成品鹽酸也是重要的化工產品，用途廣泛。稀鹽酸也可以不回收，只要再加進一些堿，使其中和，危害就沒有了，也就可以排放了。由此看來，采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法來生產多晶硅和石英玻璃，不僅可以減少廢氣的排放量，而且還可以減輕對環境的污染。