多晶硅和石英玻璃的聯合制備法生產石英舟可以省掉一些設備，從而可以節約投資，並可減輕操作人員的勞動強度。

采用傳統的單項生產法生產多晶硅，需要有一台四氯化硅合成爐和一套四氯化硅提純系統。采用傳統的單項生產法生產石英玻璃，同樣需要有一台四氯化硅合成爐和一套四氯化硅提純系統。如果采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法生產四氯化硅和多晶硅，上述設備是合一陶瓷的，從設備數量上看，多晶硅和石英玻璃的聯合制備法比傳統的單項生產法減少一半。只是設備要大一些，但單個設備的投資增加不會太多。比如四氯化硅合成爐，它的直徑加大一倍，它的產量就可以增加四倍。四氯化硅提純系統裡的設備也同樣，尺寸增加一點，產量就會增加很多。

采用傳統的單項生產法生產多晶硅和采用傳統的單項生產法生產石英玻璃都同樣需要有一套由冷凍除濕、除氧、干燥組成的氫氣淨化系統和一個鼓泡器。如果采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法生產，這些設備也是合一的。

采用多晶硅和石英石英玻璃的聯合制備法生產比單項生產法節省最多的地方還不在於此。

采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法生產比單項生產法節省最多的地方還不在於此。

采用傳統的單項生產法生產多晶硅，需要一套由冷凍分離器和氫氣回收系統組成的回收系統，而采用多晶硅和石英玻璃的聯合制石英管備法生產就不需要這套回收系統。這套系統是由科技含量高、造價高的成套設備組成的。我們知道，家用的冰箱的最低溫只有攝氏零下十幾度，一般的冷庫的最低溫也只有攝氏零下三十幾度，可這套系統所用的冷凍溫度要到攝氏零下八十幾度，甚至更低；家用的冰箱只是單級壓縮，要求深冷的冷庫也只有雙級壓縮，而這套系統所用的冷凍機是復疊式的，是在雙級之上再加了一級壓縮的，而且組合方式也是特別的。據估算，這套系統所需的費用應占總設備費用的三分之一左右。就此一項，采用多晶硅和石英玻璃的聯合制備法生產就可節省設備費三分之一左右。

很顯然，設備少，不僅可以節約投資，而且還減輕了操作人員的勞動強度。