遠紫外光學石英玻璃是由含硅的液態化合物石英在氫氧焰中水解沉積而成的。由於使用的是液態原料，容易提純，可熔制出純度極高的透明石英玻璃坨，經過熱處理和精密機械加工後就可以制成各種性能優異的光學材料。這些材料是激光陶瓷技術、航天航空、光通信和半導體集成電路制造所必須的。

遠紫外光學石英玻璃是用四氯化硅合成的石英玻璃，其特性是沒有氣泡，極高的純度，在所有材料中透紫外光譜最佳。其應用波長為175-2500nm。由於制造過程中“含水”，結構網絡中（OH）振動致使這種玻璃在2730nm處石英管具有很強的吸收峰，無顆粒結構。

遠紫外光學石英玻璃物理、化學性能

1、耐高溫

軟化點溫度約1730℃，可在1100℃下長時間使用，短時間最高使用溫度可達1450℃

2、耐腐蝕

除氫氟酸外，幾乎不與其他酸類物質發生化學反應，其耐酸能力是陶瓷的30倍，不鏽鋼的150倍，尤其是在高溫下的化學穩定性，是其他任何工程材料都無法比擬的

3、熱穩定性好

熱膨脹系數極小，能承受劇烈的溫度變化，將其加熱至110石英舟0℃左右，放入常溫水中也不會炸裂

4、透光性能好

石英玻璃片在紫外線到紅外線的整個光譜波段都有交好的透光性能，可見光透過率在93%以上，特別是在紫外線光譜區，最大透過率可達80以上

5、電絕緣性能好

電阻值相當於普通玻璃的一萬倍，是極好的電絕緣材料，即使在常溫下也具有良好的電性能。