掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統，天天文望遠鏡文望遠鏡電子束系統以及成像系統。

　　真空系統----主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內產生真空。

　　電子束系統----電子束系統由電子槍和電磁透鏡顯微鏡兩部分組成，主要顯微鏡用於產生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像。電子槍用放大鏡於產生電子，主要有利用場致發射效應產生電子和利用熱發射效應產生電子兩種。

　　成像系統----電子經過一系列電放大鏡磁透鏡成束後，打到樣品望遠鏡上與樣品相互作用，會產生次級電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如次級電子探測望遠鏡器、X射線能譜分析儀等來區金相顯微鏡分這些信號以獲得所需要的信息。
金相顯微鏡